V 系列
单级油润滑旋片真空泵 — 工业主力。
8 รุ่น
ผลิตภัณฑ์
旋片、液环、机械增压、干式螺杆、爪式、涡轮分子和低温泵 — 涵盖从粗真空到超高真空的全谱。
单级油润滑旋片真空泵 — 工业主力。
8 รุ่น
双级旋片真空泵 — 真空度优于 V 系列,适用于精密真空。
6 รุ่น
干式旋片 — 无油运行,涵盖真空(DRV)、加压(DRP)以及真空+加压一体(DRC)。
干式旋片真空泵 — 用于洁净工艺的无油真空。
4 รุ่น
干式旋片压缩机 — 无油加压应用。
3 รุ่น
干式真空+加压一体化 —— 一台泵覆盖两端。
5 รุ่น
液环真空泵 — 适用于湿气与化工。
单级液环 — 分体轴,独立电机。33–1013 mbar。
9 รุ่น
单级整体式液环 — 泵与电机同轴,占地更小。
11 รุ่น
双级液环 — 真空度更深,5–33 mbar。
15 รุ่น
机械(罗茨)增压真空泵 — 与前级泵配合,中真空高流量。
0 รุ่น
干式螺杆真空泵 — 三种客户匹配:整套(DSC)、工业开放式(DSI)、半导体封闭+PLC(DSS)。
整套式螺杆真空 — 封装机组(喷油、油封或干式)。
0 รุ่น
工业干式螺杆 — 开放式机架。
4 รุ่น
半导体干式螺杆 — 封闭式,带 PLC 控制,适用于等离子清洗与电子工艺。
0 รุ่น
涡轮分子泵 — 高真空与 UHV。
0 รุ่น
低温泵 — 半导体工艺超高真空。
低温真空泵 — 通过 10–20 K 冷阵列捕获气体。ISO-K 法兰从 200 到 550 mm。
6 รุ่น
低温制冷机 — Gifford-McMahon 冷头,可直接驱动 CR 系列低温泵或冷却热级。
0 รุ่น
氦气压缩机 — 与 CR 低温泵配对销售。
3 รุ่น
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