การดูดอากาศ load-lock ที่โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ back-end

ลดเวลาดูด load-lock จาก 6.0 เป็น 4.2 วินาที ระยะเวลาเปลี่ยนน้ำมันจาก 800 ชม. เป็น 2,800 ชม. การนับอนุภาคในห้องคลีนไม่เปลี่ยนแปลง